中國的半導(dǎo)體要想實現(xiàn)進一步甚至跨越式的發(fā)展，不斷突破卡脖子技術(shù)顯然是重中之重。據(jù)北京亦莊發(fā)布的消息，近日，北京經(jīng)開區(qū)企業(yè)科翰龍自主

中國的半導(dǎo)體要想實現(xiàn)進一步甚至跨越式的發(fā)展，不斷突破“卡脖子”技術(shù)顯然是重中之重。

據(jù)北京亦莊發(fā)布的消息，近日，北京經(jīng)開區(qū)企業(yè)科翰龍自主研發(fā)的晶圓打碼機WM-SC800R通過驗收。這是國內(nèi)首臺通過FAB廠(通常指半導(dǎo)體工廠)驗收的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的晶圓(Wafer)ID打碼設(shè)備，晶圓(Wafer)ID打碼設(shè)備實現(xiàn)了“零”的突破，突破了“卡脖子”環(huán)節(jié)，在自主可控道路上邁出關(guān)鍵一步。

據(jù)介紹，晶圓(Wafer)ID打碼設(shè)備新產(chǎn)品通過驗收是一個十分漫長的過程。

兩年前，科翰龍自主研發(fā)的晶圓打碼機WM-SC800R就在FAB廠的8英寸集成電路晶圓生產(chǎn)線上進行晶圓(Wafer)ID軟打碼測試及試生產(chǎn)。檢測結(jié)果優(yōu)良，該晶圓打碼機所加工的晶圓(Wafer)ID碼完全達到了SEMI(半導(dǎo)體設(shè)備與材料的國際性組織)標(biāo)準(zhǔn)的要求，達到了用戶關(guān)于軟打碼顆粒數(shù)的要求，完全達到了ISO 1級環(huán)境下的要求。

經(jīng)過兩年的測驗，今年8月，晶圓打碼機WM-SC800R終于迎來好消息，正式通過驗收。

科翰龍副總經(jīng)理王向陽表示，晶圓ID打碼設(shè)備涉及微米級的高精度測量、高穩(wěn)定性的激光光源、激光及光路控制科學(xué)、半導(dǎo)體材料科學(xué)、力學(xué)科學(xué)及流體力學(xué)科學(xué)、數(shù)字通信、工業(yè)自動化綜合管理科學(xué)等高精尖技術(shù)，有著較高的門檻。

此次的WM-SC800R在激光器的選用、光路的設(shè)計、晶圓定位的方法、設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計以及設(shè)備的整體控制及軟件編程上都是自主設(shè)計開發(fā)的,具有完全的自主知識產(chǎn)權(quán)，不易被國外“卡脖子”。

科翰龍官網(wǎng)顯示，該公司致力于精密加工、激光加工及自動化技術(shù)在半導(dǎo)體微電子行業(yè)的應(yīng)用，主要開發(fā)和制造三類產(chǎn)品：晶圓激光打碼設(shè)備、晶圓倒角邊拋設(shè)備、單片濕式工藝設(shè)備。

另外，在北京經(jīng)開區(qū)還有中國大陸第一條12英寸芯片生產(chǎn)線、全國唯一一條奔馳發(fā)動機生產(chǎn)線、全國唯一IPV6根服務(wù)器工程中心等。

關(guān)鍵詞： 晶圓